Спектроскопический эллипсометр

Применимо в научных исследованиях, полупроводниках, фотовольтаике, оптических покрытиях, дисплейных панелях и т. д.

Основанная на технологии модуляции с двумя вращающимися компенсаторами, она позволяет однократно получать спектры, такие как Psi(Ψ)/Delta(Δ) и N/C/S, и обеспечивает быстрый анализ толщины и оптических свойств однослойных и многослойных микро- и нанопленок на подложках.

Используется для измерения таких параметров, как толщина подложки и пленочного слоя (d), показатель преломления (n), коэффициент поглощения (κ) и диэлектрическая постоянная (ε).