Микроскоп для измерения интерференции белого света

Использование источника белого света для объединения некогерентной световой интерференции с микроскопической визуализацией высокого разрешения позволяет создавать микроскопические трехмерные профили, а применение объективов с различным увеличением позволяет достичь вертикального разрешения измерения в субнанометровом диапазоне.

Трехмерные микроизмерения поверхности и оценка шероховатости широко применяются в прецизионной обработке, производстве полупроводников и анализе материалов.

Подходит для прецизионных оптических компонентов, микро- и нанотехнологичных устройств, металлических деталей, кремниевых пластин и других компонентов.

Вертикальное разрешение менее нанометра, подходит для измерения и анализа гладких поверхностей.

Включая анализ микропрофилей на наномасштабе, двумерные измерения, измерение шероховатости и т. д.

Использование высокочувствительных, высокоскоростных датчиков и высокоточных, высокоскоростных пьезоэлектрических керамических элементов большого диапазона для достижения высокой эффективности сканирования.

Поддержка измерений в 2D и 3D режимах.

Автоматическая сшивка для просмотра большого поля зрения и измерения после сшивания.

Результаты измерений можно сохранять в отчетах и экспортировать.

Виброизоляционная платформа входит в стандартную комплектацию для обеспечения стабильной работы.